橡膠空氣彈簧技術(shù)領(lǐng)域的核心技術(shù)
橡膠空氣彈簧自然環(huán)境振動早已成為了制約械加工設(shè)備和檢測儀器度和特點提升的主要要素。尤其是以步進電掃描儀光刻技術(shù)為代表的集成電路工藝電子器件生產(chǎn)設(shè)備，技術(shù)性抗壓強度和復(fù)雜性高，橡膠空氣彈簧重要性能參數(shù)做到了原來工藝的，意味著了械加工的較高設(shè)備。
橡膠空氣彈簧高減震已變成此類設(shè)備的關(guān)鍵核心技術(shù)；步進電掃描儀光刻技術(shù)線距已做到22nm及以下，圓晶精度級別和疊合度做到數(shù)技術(shù)，商品工件臺速度做到lm/s以上，商品工件臺瞬時速度做到重力加速度的幾十倍，對原有的橡膠空氣彈簧振動明確提出了新的挑戰(zhàn)隔離技術(shù)。與此同時還推動商品工件操作臺迅速、高瞬時速度移動，這對減震減振特點明確提出了為嚴(yán)苛的規(guī)定。
三個方位的共振頻率都在1Hz以下，光刻技術(shù)各部件之間相對位置，如光刻技術(shù)測微目鏡與單晶硅片表層的間距，都是有十分嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?guī)定，處于關(guān)閉的位置環(huán)中。在反饋意見自動控制的操縱下，規(guī)定橡膠空氣彈簧上下安裝板中間的相對位置度做到數(shù)量，而傳統(tǒng)化的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)地不可以符合要求。