美光(MicronTechnology)半導體設備空氣隔振器調壓閥的工作原理及基本性能

美光半導體設備空氣隔振器調壓閥有多種多樣結構類型。過去常見的有膈膜式、內彈簧活塞機等。調壓閥的基礎原理是根據(jù)閥內過流道對流水的部分摩擦阻力來減少壓力。

一、空氣隔振器調壓閥的原理：

當調壓閥導出工作壓力高或規(guī)格大，選用變壓彈簧立即調整工作壓力時，彈簧彎曲剛度務必太大。當流量轉變時，導出工作壓力起伏特別大，閘閥的結構規(guī)格也會提高。為了方便處理，能夠應用先導式減壓閥。先導式減壓閥的基本原理與直移動式基本一致。先導式減壓閥運用的變壓氣體由中小型直移動式調壓閥供貨。假如將中小型直移動式調壓閥安裝于閥身體中，則稱作內部構造調壓閥；假如中小型直移動式調壓閥安裝在主閥體外界，則稱作外調壓閥。

設定器是一種空氣隔振器調壓閥，適用于工作壓力設定?，F(xiàn)階段壓力表有二種：空氣隔振器氣動閥門工作壓力分別是0.14MPa和0.35MPa，導出工作壓力范圍各自為0-0.1MPa和0-0.25MPa。

它由三部份組成：1是直移動式調壓閥的關鍵關閉一部分；2是恒壓降設備，相當于一定的空氣壓力調壓閥。關鍵功能是使噴嘴獲得穩(wěn)定的氣流；3為噴嘴擋板設備及變壓一部分，起變壓和工作壓力增大作用，運用其變大的標準氣壓操縱主閥一部分。

由于穩(wěn)壓電源具有設定、比較、放大功能，穩(wěn)壓管高精度。