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投射光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)有哪些方式


投射光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)有哪些方式
 
1、設(shè)計(jì)方案絕對(duì)高度更低:和傳統(tǒng)汽缸對(duì)比,增壓器的投射光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)并沒有液壓油缸。設(shè)計(jì)方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對(duì)高度?使構(gòu)造更緊密。
 
2、無電源適配器的好姿態(tài):工業(yè)設(shè)備氣襄扭力彈簧的傾斜視角做到30°,便捷設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)方案連接組織計(jì)劃方案。(注:假如設(shè)施的規(guī)格型號(hào)和規(guī)格不一樣,許可的俯仰角也不一樣。)
 
3、型號(hào)選擇低成本:和傳統(tǒng)汽缸對(duì)比彈簧,氣體增壓器彈簧不僅低成本,并且使用期限長,免維修保養(yǎng)空氣彈簧減震器哪里好,成本費(fèi)可控性。
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4、無磨擦免維護(hù)保養(yǎng):即便在嚴(yán)酷的應(yīng)用情況下彈簧,彈簧也可以正常的工作中。因?yàn)榇驓馔矁?nèi)并沒有互相摩擦的構(gòu)件(液壓密封件),因此就算在有很多塵土、細(xì)微顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。
 
5、結(jié)合實(shí)際出色的疲憊減輕:氣囊彈簧在動(dòng)態(tài)性前提下也十分耐疲憊,由于這類氣囊用以各種各樣化工品的生產(chǎn)制造普遍的應(yīng)用和檢查,即使他們是不容易受天氣和外部環(huán)境的危害。就算承載力大,工業(yè)設(shè)備仍能維持較長的使用年限。
 
6、氣體增壓器投射光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的氣軸抗壓強(qiáng)度可達(dá)30mm,在該地區(qū)工作時(shí)可始終保持。與汽缸或液壓油缸不一樣,汽缸不容易紙卡或受損液壓密封件,都不應(yīng)用易受塵土與別的碎渣損傷的滾桶。
 
7、便于組裝:當(dāng)不除塵時(shí),氣囊投射光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)組裝迅速輕輕松松,省時(shí)省力、時(shí)間精力和成本費(fèi)。除此之外,該元器件具有較強(qiáng)的延展性,可以賠償細(xì)微的誤差。
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